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伯东企业（上海）有限公司
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离子源中空阴 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴 Hollow cathode 辐射的热量低, 可以使衬底获得低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴有优势.
离子源中空阴 Hollow Cathodes 型号
Model | HFx | SHC1000 | DSHC1000 |
Cathode | Yes | Yes | Yes |
Neutralizer | Yes | Yes | Yes |
Orientation | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal |
Regulation | Emission | Emission | Emission |
Operational gas | None | Inert | Inert |
Process gases | Inert & reactive | Inert & reactive | Inert & reactive |
Power Controller | FC100x | e- Mission Power Pack | e- Mission Power Pack |
Model | MHC1000 | LHC1000 |
Cathode | Yes | Yes |
Neutralizer | Yes | Yes |
Orientation | Vertical / Horizontal | Vertical / Horizontal |
Regulation | Emission | Emission |
Operational gas | Inert | Inert |
Process gases | Inert & reactive | Inert & reactive |
Power Controller | e- Mission Power Pack | e- Mission Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已多项. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐！