HVA 矩形阀 Load-lock 典型应用

HVA 矩形阀 Load-lock 典型应用
上海伯东某生产原生多晶矽料生产设备, 矽片加工设备, 晶体矽电池生产设备企业, 使用美国 HVA 矩形阀用于真空机台的 Load-lock工位, HVA 矩形阀安装在 2X18 英寸规格内的矽片生产线上, 起到辅助传递矽片, 隔离真空腔室的作用.

矽片比较薄, 一般可到200um, 还比较脆, 所以在传送过程中对震动比较敏感, 同时需要安装于设备上的矩形阀方便维护, 使用寿命长. 经过伯东推荐, 客户采购美国 HVA 88200 系列不锈钢矩形阀.

美国 HVA 矩形阀具有特的密封系统, 可避免粉尘颗粒污染, 有效减少了维护次数. 外形尺寸小, 采用了技术的驱动系统,运行时震动小. 很好的满足了客户的需求. 与友厂 VAT 真空阀门对比, HVA 真空阀门维护简单, 将阀门从设备上移除, 常规保养直接换密封圈即可.

HVA  矩形阀 88200 系列
> 1000000 次 启闭次数
高压不锈钢坯体加工阀门主体
矩形阀尺寸: 高≤6 " ID (DN150) / 宽≤78 " ID (DN2000)
不锈钢焊接波纹管
矩形阀 传动轴设计, 振动小
可选择高达 200℃的高温型号
可定制, HVA 矩形阀适用于所有真空应用

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134